吸氣行程開始后，滯留在氣缸余隙內的高壓氣體會有一個反膨脹過程。反膨脹后氣體壓力恢復到吸氣壓力，用于壓縮這部分氣體而消耗的能量在反膨脹中就損失掉了。余隙越小，一方面反膨脹引起的功耗越小，另一方面吸氣量越大，壓縮機能效比因此大大增加。

反膨脹過程中，氣體與閥板、活塞頂部和氣缸頂部的高溫面接觸吸熱，因而反膨脹結束時氣體溫度不會降低到吸氣溫度。

反膨脹結束后，正真的吸氣過程才開始。氣體進入氣缸后一方面與反膨脹氣體混合，溫度升高；另一方面，混合氣體從壁面上吸熱升溫。因此壓縮過程開始時的氣體溫度比吸氣溫度高。但由于反膨脹過程和吸氣過程非常短暫，實際的溫升很非常有限，一般不足5°C。

反膨脹是由氣缸余隙引起的，是傳統活塞式壓縮機無法回避的缺點。閥板排氣孔中的氣體排不出，就會有反膨脹。

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